Tyhjiökomponentit

Lämpökäsittely sisältää pääasiassa hapetus-, diffuusio- ja hehkutusprosesseja.Hapetus on lisäysprosessi, jossa piikiekot asetetaan korkean lämpötilan uuniin ja happea lisätään reagoimaan niiden kanssa muodostaen piikiekkoja kiekon pinnalle.Diffuusio on siirtää aineita korkean pitoisuuden alueelta matalan pitoisuuden alueelle molekyylilämpöliikkeen avulla, ja diffuusioprosessia voidaan käyttää spesifisten seostusaineiden lisäämiseen piisubstraattiin, mikä muuttaa puolijohteiden johtavuutta.